Vonjon párhuzamot a mikrotechnika és a mikromechanika között, milyen azonosságok és különbségek vannak a két terület között?
Foglalja össze a mikrorendszerek előnyös tulajdonságait!
Melyek a mikrorendszerek legfontosabb anyagai?
Foglalja össze a szilícium legfontosabb kémiai, mechanikai és villamos tulajdonságait!
Írja le a szilícium kristályszerkezetét!
Foglalja össze a mikrotechnikában leggyakrabban használatos effektusokat!
Melyek a mikrorendszerekre legjellemzőbb technológiák?
Vonjon párhuzamot a felületi és a tömbi mikrotechnikai technológiák között!
Ismertesse a fontosabb PVD eljárásokat!
Ismertesse a fontosabb CVD eljárásokat!
Mi az elektronsugaras litográfia lényege, és alkalmazási területe?
Miben különbözik a pozitív és negatív fotoreziszt technológia?
A marási folyamatoknál értelmezze a szelektivitás és az izotrópia fogalmát!
Foglalja össze a legjellemzőbb nedves marási módszereket!
Ismertesse a fizikai marási módszereket és eszközeit!
Magyarázza el, miért és mikor van szükség sarokkompenzációra?
Foglalja össze a LIGA technológia lényegét!
Ismertesse a mikrotechnikai nyomásmérő szenzorokat!
Ismertesse a mikrotechnikai gyorsulásmérő szenzorokat!
Ismertesse a mikrotechnikai szögsebesség mérő szenzorokat!
Ismertesse a leginkább használatos mikrotechnikai aktuátorokat!
Ismertesse a legfontosabb mikrooptikai eszközöket!
Ismertesse a klasszikus CD technológiát!